(19)

(11)

EP 2 089 559 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 31.07.2008 (43) Veröffentlichungstag: 19.08.2009  Patentblatt  2009/34 (21) Anmeldenummer: 07802608.5 (22) Anmeldetag:  15.08.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/12(2006.01) B05B 7/14(2006.01) C23C 28/00(2006.01) C23C 24/00(2006.01) B05B 7/16(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/058427 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/058776 (22.05.2008 Gazette  2008/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 14.11.2006 EP 06023663 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: HALBERSTADT, Knut 45481 Mülheim An Der Ruhr (DE) STAMM, Werner 45481 Mülheim An Der Ruhr (DE) (74) Vertreter: Wolff, Harry  Siemens AG, CT IPS AM Postfach 22 16 36 80506 München 80506 München (DE)