(19)
(11) EP 2 092 350 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.07.2008

(43) Veröffentlichungstag:
26.08.2009  Patentblatt  2009/35

(21) Anmeldenummer: 07822253.6

(22) Anmeldetag:  06.11.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 1/07(2006.01)
G09G 3/00(2006.01)
 G01R 31/302(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/061936
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/058869 (22.05.2008 Gazette  2008/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 16.11.2006 DE 102006054088

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KLAUSMANN, Hagen
    91336 Heroldsbach (DE)
  • KRAGLER, Karl
    85622 Weissenfeld (DE)
  • NEUSSER, Martin
    83553 Frauenneuharting (DE)

   


(54) MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN ZUM INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATES