(19)

(11)

EP 2 094 073 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.09.2009  Patentblatt  2009/36 (21) Anmeldenummer: 07846679.4 (22) Anmeldetag:  20.11.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  A01B 69/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/010016 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/064800 (05.06.2008 Gazette  2008/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 27.11.2006 DE 102006055858 (71) Anmelder: Carl Zeiss MicroImaging GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: CORRENS, Nico 99425 Weimar (DE) GEISSLER, Enrico 07749 Jena (DE) RODE, Michael 07743 Jena (DE) NIETEN, Christoph 07743 Jena (DE) NEUMANN, Tobias 07745 Jena (DE) KUEHNLE, Ruediger 70372 Stuttgart (DE) (74) Vertreter: Loritz, Rainer  c/o Carl Zeiss AG Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena 07745 Jena (DE)