(19)

(11)

EP 2 094 878 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 28.05.2009 (43) Veröffentlichungstag: 02.09.2009  Patentblatt  2009/36 (21) Anmeldenummer: 07819943.7 (22) Anmeldetag:  15.08.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/08(2006.01) C23C 30/00(2006.01) C23C 28/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/058429 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/061813 (29.05.2008 Gazette  2008/22)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 24.11.2006 EP 06024450 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: STAMM, Werner 45481 Mülheim an der Ruhr (DE)