(19)

(11)

EP 2 095 407 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.09.2009  Bulletin  2009/36 (21) Numéro de dépôt: 07857946.3 (22) Date de dépôt:  20.12.2007

(51) Int. Cl.:  H01L 21/336(2006.01) B81C 1/00(2006.01) H01L 29/786(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2007/064325 (87) Numéro de publication internationale: WO 2008/074862 (26.06.2008 Gazette  2008/26)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 21.12.2006 FR 0655822 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: BARBE, Jean-Charles 38000 Grenoble (FR) DORNEL, Erwan 35770 Vern sur Seiche (FR) DE CRECY, François 38180 Seyssins (FR) EYMERY, Joël 38360 Sassenage (FR) (74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe  BREVALEX 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)