(19)
(11) EP 2 095 411 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.02.2009

(43) Veröffentlichungstag:
02.09.2009  Patentblatt  2009/36

(21) Anmeldenummer: 07856184.2

(22) Anmeldetag:  20.11.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/677(2006.01)
 H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/010001
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/061689 (29.05.2008 Gazette  2008/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 20.11.2006 DE 102006054846

(71) Anmelder: Permatecs Gmbh
78662 Bösingen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHNEIDER, Beate
    78662 Bösingen (DE)
  • SCHNEIDER, Manfred
    78662 Bösingen (DE)

(74) Vertreter: Witte, Weller & Partner 
Phoenixbau Königstrasse 5
70173 Stuttgart
70173 Stuttgart (DE)

   


(54) PRODUKTIONSANLAGE ZUR HERSTELLUNG VON SOLARZELLEN, INLINE-BATCH-UMSETZEINRICHTUNG, BATCH-INLINE-UMSETZEINRICHTUNG SOWIE DAS DAZUGEHÖRIGE VERFAHREN