(19)
(11) EP 2 097 553 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.09.2009  Patentblatt  2009/37

(21) Anmeldenummer: 07846592.9

(22) Anmeldetag:  15.11.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/02(2006.01)
C23C 14/56(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/009862
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/067899 (12.06.2008 Gazette  2008/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 04.12.2006 DE 102006057386

(71) Anmelder: Uhde GmbH
44141 Dortmund (DE)

(72) Erfinder:
  • DULLE, Karl-Heinz
    50399 Olfen (DE)
  • BÄUMER, Ulf-Steffen
    44263 Dortmund (DE)
  • KIEFER, Randolf
    45892 Gelsenkirchen (DE)
  • WOLTERING, Peter
    48485 Neuenkirchen (DE)
  • HOORMANN, Dirk
    59368 Werne a.d. Lippe (DE)
  • OELMANN, Stefan
    58675 Hemer (DE)
  • HOEDTKE, Joachim-H.
    25436 Moorrege/Klevendeich (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN