(19)
(11) EP 2 097 559 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.09.2009  Patentblatt  2009/37

(21) Anmeldenummer: 07803315.6

(22) Anmeldetag:  07.09.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 28/00(2006.01)
G01K 1/20(2006.01)
 C23C 30/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/059361
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/068071 (12.06.2008 Gazette  2008/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 07.12.2006 EP 06025368

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHUMANN, Eckart
    45468 Mülheim An Der Ruhr (DE)
  • SUBRAMANIAN, Ramesh
    32765 Oviedo, FL (US)
  • WESSLER, Berit
    93049 Regensburg (DE)

   


(54) SCHICHTSYSTEM