ELEKTRONISCHE, INSBESONDERE MIKROELEKTRONISCHE FUNKTIONSGRUPPE UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG - Patent 2100327

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EP 2 100 327 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	16.09.2009 Patentblatt 2009/38

(21)	Anmeldenummer: 06829212.7

(22)	Anmeldetag: 24.11.2006

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 21/60^(2006.01)
H01L 23/498^(2006.01)

H01L 21/56^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2006/011515

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2008/061554 (29.05.2008 Gazette 2008/22)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(71)	Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
	80686 München (DE)

(72)	Erfinder:
	MARENCO, Norman 25582 Hohenaspe (DE)

(74)	Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR
	Patent- und Rechtsanwälte Joachimstaler Strasse 10-12 10719 Berlin 10719 Berlin (DE)

(54)	ELEKTRONISCHE, INSBESONDERE MIKROELEKTRONISCHE FUNKTIONSGRUPPE UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG