(19)
(11) EP 2 102 885 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.09.2009  Patentblatt  2009/39

(21) Anmeldenummer: 07857154.4

(22) Anmeldetag:  28.12.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 35/24(2006.01)
H05G 1/34(2006.01)
H01J 35/14(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/011463
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/080624 (10.07.2008 Gazette  2008/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 28.12.2006 DE 102006062452

(71) Anmelder: Yxlon International Feinfocus Gmbh
30827 Garbsen (DE)

(72) Erfinder:
  • REINHOLD, Alfred
    31515 Wunstorf (DE)

(74) Vertreter: DTS München 
St.-Anna-Strasse 15
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) RÖNTGENRÖHRE SOWIE VERFAHREN ZUR PRÜFUNG EINES TARGETS DURCH ABTASTEN MIT ELEKTRONENSTRAHL