(19)
(11) EP 2 104 752 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.05.2009

(43) Veröffentlichungstag:
30.09.2009  Patentblatt  2009/40

(21) Anmeldenummer: 07821232.1

(22) Anmeldetag:  12.10.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/12(2006.01)
C23C 24/00(2006.01)
C04B 35/00(2006.01)
H01L 21/288(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/060865
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/046785 (24.04.2008 Gazette  2008/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 17.10.2006 DE 102006048906

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • WOLST, Oliver
    72622 Nuertingen (DE)
  • WIDENMEYER, Markus
    71101 Schoenaich (DE)
  • MARTIN, Alexander
    70469 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR STABILISIERUNG UND FUNKTIONALISIERUNG VON PORÖSEN METALLISCHEN SCHICHTEN