(19)
(11) EP 2 106 457 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.10.2009  Patentblatt  2009/41

(21) Anmeldenummer: 07845644.9

(22) Anmeldetag:  24.12.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/34(2006.01)
G11B 5/851(2006.01)
 H01J 37/34(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH2007/000647
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/080244 (10.07.2008 Gazette  2008/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 02.01.2007 US 883086 P

(71) Anmelder: OC Oerlikon Balzers AG
9496 Balzers (LI)

(72) Erfinder:
  • ROHRMANN, Hartmut
    69198 Schriesheim (DE)
  • FRIEDLI, Hanspeter
    CH-7012 Felsberg (CH)
  • WEICHART, Jürgen
    FL-9496 Balzers (LI)
  • KADLEC, Stanislav
    150 00 Praha 5 (CZ)
  • DUBS, Martin
    CH-7304 Maienfeld (CH)

(74) Vertreter: Wagner, Wolfgang Heribert 
Zimmerli, Wagner & Partner AG, Löwenstrasse 19, Postfach
8021 Zürich
8021 Zürich (CH)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER GERICHTETEN SCHICHT MITTELS KATHODENZERSTÄUBUNG UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS