ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK....IS..MT..........................*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/02106457A120091007EP07845644.92007122420090609dedede883086 P20070102US2009100720094120091007200941C23C 14/34 20060101AFI20080722BHEP H01J 37/34 20060101ALI20080722BHEP G11B 5/851 20060101ALI20080722BHEP deVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER GERICHTETEN SCHICHT MITTELS KATHODENZERSTÄUBUNG UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENSenMETHOD FOR THE PRODUCTION OF A DIRECTIONAL LAYER BY MEANS OF CATHODE SPUTTERING, AND A DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHODfrPROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE COUCHE ORIENTÉE PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE ET DISPOSITIF DE RÉALISATION DU PROCÉDÉOC Oerlikon Balzers AG07719400P032A019Iramali 189496 BalzersLIROHRMANN, HartmutNeue Anlage 2469198 SchriesheimDEFRIEDLI, HanspeterSchlosshaldenweg 7CH-7012 FelsbergCHWEICHART, JürgenRietle 14FL-9496 BalzersLIKADLEC, StanislavPod lipkami 13150 00 Praha 5CZDUBS, MartinIm Unteren Stieg 2CH-7304 MaienfeldCHWagner, Wolfgang Heribert00070004Zimmerli, Wagner & Partner AG, Löwenstrasse 19, Postfach8021 ZürichCHATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEISITLILTLULVMCMTNLPLPTROSESISKTRCH200700064720071224deWO200808024420080710200828