(19)
(11) EP 2 108 051 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.05.2009

(43) Veröffentlichungstag:
14.10.2009  Patentblatt  2009/42

(21) Anmeldenummer: 08701266.2

(22) Anmeldetag:  07.01.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 4/12(2006.01)
C23C 24/08(2006.01)
C23C 24/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/050087
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/084025 (17.07.2008 Gazette  2008/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 09.01.2007 DE 102007001477

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ARNDT, Axel
    10961 Berlin (DE)
  • PYRITZ, Uwe
    13599 Berlin (DE)
  • SCHIEWE, Heike
    12167 Berlin (DE)
  • ULLRICH, Raymond
    14621 Schönwalde (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM KALTGASSPRITZEN VON PARTIKELN UNTERSCHIEDLICHER FESTIGKEIT UND/ODER DUKTILITÄT