(19)
(11) EP 2 118 005 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
06.11.2008

(43) Date de publication:
18.11.2009  Bulletin  2009/47

(21) Numéro de dépôt: 08762072.0

(22) Date de dépôt:  12.02.2008
(51) Int. Cl.: 
C01B 33/037(2006.01)
F27B 14/06(2006.01)
F27B 14/10(2006.01)
H01L 31/18(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2008/050220
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2008/104702 (04.09.2008 Gazette  2008/36)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 14.02.2007 FR 0753256

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Energie Atomique
    75015 Paris (FR)
  • EFD Induction SA
    38170 Seyssinet Pariset (FR)

(72) Inventeurs:
  • LAFON, Christophe
    F-07700 Saint Marcel D'ardeche (FR)
  • BOEN, Roger
    F-30130 Saint Alexandre (FR)
  • BRUGUIERE, Lionel
    F-34130 Saint Aunes (FR)
  • GIROLD, Christophe
    F-84420 Piolenc (FR)
  • LEMORT, Florent
    F-30400 Villeneuve Les Avignon (FR)
  • BONNETIER, Armand
    F-84100 Orange (FR)
  • RIVAT, Pascal
    F-38590 Saint Etienne De Saint Geoirs (FR)
  • DEL GOBBO, Jean-Pierre
    F-38410 Saint Martin D'uriage (FR)
  • DELAGE, Daniel
    F-38610 Gieres (FR)

(74) Mandataire: de Beaumont, Michel 
Cabinet Michel de Beaumont 1, rue Champollion
38000 Grenoble
38000 Grenoble (FR)

   


(54) INSTALLATION D'AFFINAGE DE SILICIUM