| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
|
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL
PT RO SE SI SK TR |
| (30) |
Priorität: |
09.02.2007 DE 102007007699
|
| (71) |
Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance
Microelectronics/Institut für innovative
Mikroelektronik |
|
15236 Frankfurt an der Oder (DE) |
|
| (72) |
Erfinder: |
|
- PETER, Steffen
15234 Frankfurt (DE)
- METHFESSEL, Michael
15230 Frankfurt (DE)
- LANGENDÖRFER, Peter
15230 Frankfurt (DE)
- VATER, Frank
03046 Cottbus (DE)
|
| (74) |
Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner |
|
Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2 10178 Berlin 10178 Berlin (DE) |
|