(19)
(11) EP 2 118 927 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
18.12.2008

(43) Veröffentlichungstag:
18.11.2009  Patentblatt  2009/47

(21) Anmeldenummer: 07856974.6

(22) Anmeldetag:  20.12.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/768(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/011251
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/095526 (14.08.2008 Gazette  2008/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 06.02.2007 DE 102007006640

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHULTZ-WITTMANN, Oliver
    79102 Freiburg (DE)
  • GRANEK, Filip
    79108 Freiburg (DE)
  • GROHE, Andreas
    79108 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner 
Patentanwälte Bismarckstrasse 16
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN EINER STRUKTUR AUF EIN HALBLEITERBAUELEMENT