(19)

(11)

EP 2 122 680 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 25.11.2009  Patentblatt  2009/48 (21) Anmeldenummer: 07802153.2 (22) Anmeldetag:  05.09.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/40(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/007748 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/083727 (17.07.2008 Gazette  2008/29)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 20.12.2006 DE 102006060383 25.01.2007 DE 102007003821 (71) Anmelder: Rohde & Schwarz GmbH & Co. KG 81671 München (DE)	(72) Erfinder: KAEHS, Bernhard 82008 Unterhaching (DE) SEMERAD, Johann 85570 Markt Schwaben (DE) (74) Vertreter: Körfer, Thomas et al Mitscherlich & Partner Patent- und Rechtsanwälte Postfach 33 06 09 80066 München 80066 München (DE)