(19)
(11) EP 2 132 359 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.11.2008

(43) Veröffentlichungstag:
16.12.2009  Patentblatt  2009/51

(21) Anmeldenummer: 08715541.2

(22) Anmeldetag:  05.03.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/40(2006.01)
 C23C 16/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2008/000392
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/106955 (12.09.2008 Gazette  2008/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 05.03.2007 DE 102007010995

(71) Anmelder: Biedermann, Bianca
88356 Ostrach (DE)

(72) Erfinder:
  • Biedermann, Bianca
    88356 Ostrach (DE)

(74) Vertreter: Otten, Herbert 
Eisele, Otten, Roth & Dobler Patentanwälte Grosstobeler Strasse 39
88276 Ravensburg / Berg
88276 Ravensburg / Berg (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN ZUM AUFBRINGEN VON TRANSPARENTEN SILIZIUMDIOXID-SCHICHTEN AUS DER GASPHASE