(19)

(11)

EP 2 132 772 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 19.02.2009 (43) Veröffentlichungstag: 16.12.2009  Patentblatt  2009/51 (21) Anmeldenummer: 07846389.0 (22) Anmeldetag:  04.12.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/373(2006.01) H01S 5/024(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2007/002186 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/119309 (09.10.2008 Gazette  2008/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 30.03.2007 DE 102007015771 14.06.2007 DE 102007027991 29.06.2007 DE 102007030389 (71) Anmelder: Electrovac AG 3400 Klosterneuburg (AT)	(72) Erfinder: HAMMEL, Ernst A-1140 Wien (AT) SCHULZ-HARDER, Jürgen 91207 Lauf a.d. Pegnitz (DE) (74) Vertreter: Graf, Helmut et al Patentanwälte Graf Wasmeier Glück Hermann-Köhl-Straße 2a D-93049 Regensburg D-93049 Regensburg (DE)