(19)

(11)

EP 2 137 337 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 29.01.2009 (43) Veröffentlichungstag: 30.12.2009  Patentblatt  2009/53 (21) Anmeldenummer: 08707792.1 (22) Anmeldetag:  22.02.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/26(2006.01) B05D 7/24(2006.01) A61N 1/375(2006.01) C23C 16/40(2006.01) H01L 51/52(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/001388 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/101704 (28.08.2008 Gazette  2008/35)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 23.02.2007 DE 102007008861 (71) Anmelder: Technische Universität Kaiserslautern 67663 Kaiserslautern (DE)	(72) Erfinder: BUSCH, Heinz, Werner 53639 Königswinter-Thomasberg (DE) GRABOWY, Udo, Heinrich 53881 Euskirchen-Flamersheim (DE) KLEINEN, Lisa 50931 Köln (DE) (74) Vertreter: Sawodny, Michael-Wolfgang  Dreiköniggasse 10 89073 Ulm 89073 Ulm (DE)