(19)
(11) EP 2 140 485 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.01.2010  Patentblatt  2010/01

(21) Anmeldenummer: 08717787.9

(22) Anmeldetag:  13.03.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/60(2006.01)
H01L 21/48(2006.01)
H01L 21/02(2006.01)
H01L 21/607(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/053043
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/116761 (02.10.2008 Gazette  2008/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 28.03.2007 DE 102007014762

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • DONIS, Dieter
    70439 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINER BONDVERBINDUNG