(19)

(11)

EP 2 142 685 A1

(12)

(43) Date of publication: 13.01.2010 Bulletin 2010/02 (21) Application number: 08741641.8 (22) Date of filing: 17.04.2008

(51) International Patent Classification (IPC):  C25D 3/66(2006.01) H01L 51/00(2006.01) H01L 51/10(2006.01) C25D 5/18(2006.01) H01L 51/52(2006.01) H01L 51/44(2006.01) (86) International application number: PCT/NL2008/050220 (87) International publication number: WO 2008/127110 (23.10.2008 Gazette 2008/43)

(84) Designated Contracting States: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR (30) Priority: 17.04.2007 EP 07106347 (71) Applicant: Nederlandse Centrale Organisatie Voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 2628 VK Delft (NL)

(72) Inventors: VAN MOL, Antonius Maria Bernardus NL-5658 HC Eindhoven (NL) SCHOO, Harmannus Franciscus Maria NL-5521 PR Eersel (NL) BRESSERS, Petrus Marinus Martinus Cornelus NL-8032 MZ Zwolle (NL) VAN ERKEL, Joost NL-7314 CN Apeldoorn (NL) KOETSE, Marinus Marc NL-5644 EE Eindhoven (NL) (74) Representative: Hatzmann, Martin et al Vereenigde Johan de Wittlaan 7 2517 JR Den Haag 2517 JR Den Haag (NL)