(19)

(11)

EP 2 143 140 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 31.12.2008 (43) Veröffentlichungstag: 13.01.2010  Patentblatt  2010/02 (21) Anmeldenummer: 08748729.4 (22) Anmeldetag:  02.04.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/495(2006.01) H01L 21/48(2006.01) H01L 21/56(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2008/000566 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/131713 (06.11.2008 Gazette  2008/45)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 30.04.2007 DE 102007020618 (71) Anmelder: Danfoss Silicon Power GmbH 24837 Schleswig (DE)	(72) Erfinder: ULRICH, Holger 24589 Eisendorf (DE) SENYILIZ, Teoman 24837 Schleswig (DE) EISELE, Ronald 24229 Surendorf (DE) (74) Vertreter: Biehl, Christian  Boehmert & Boehmert Anwaltssozietät Niemannsweg 133 24105 Kiel 24105 Kiel (DE)