(19)
(11) EP 2 144 714 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.08.2009

(43) Veröffentlichungstag:
20.01.2010  Patentblatt  2010/03

(21) Anmeldenummer: 08749932.3

(22) Anmeldetag:  30.04.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B05D 3/14(2006.01)
B05D 3/06(2006.01)
B05D 3/00(2006.01)
B05D 5/08(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/055351
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/132230 (06.11.2008 Gazette  2008/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 30.04.2007 DE 102007020655

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • VISSING, Klaus-Dieter
    27321 Morsum (DE)
  • DÖLLE, Christopher
    27749 Delmenhorst (DE)
  • OTT, Matthias
    21255 Dohren (DE)

(74) Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner 
Patentanwälte Rechtsanwälte Postfach 10 60 78
28060 Bremen
28060 Bremen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DÜNNER SCHICHTEN UND ENTSPRECHENDE SCHICHT