(19)

(11)

EP 2 152 932 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 22.10.2009 (43) Veröffentlichungstag: 17.02.2010  Patentblatt  2010/07 (21) Anmeldenummer: 08760142.3 (22) Anmeldetag:  28.05.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 18/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/056547 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/148679 (11.12.2008 Gazette  2008/50)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 07.06.2007 DE 102007026626 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: JENSEN, Jens Dahl 14050 Berlin (DE) KRÜGER, Ursus 14089 Berlin (DE) WINKLER, Gabriele 13587 Berlin (DE) (74) Vertreter: Wolff, Harry  Siemens Aktiengesellschaft Postfach 22 16 34 80506 München 80506 München (DE)