(19)

(11)

EP 2 153 070 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.02.2010  Patentblatt  2010/07 (21) Anmeldenummer: 08760568.9 (22) Anmeldetag:  05.06.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04D 19/04(2006.01) H01J 49/26(2006.01) F04D 29/70(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/056991 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/151979 (18.12.2008 Gazette  2008/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 11.06.2007 DE 102007027354 (71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: SCHNEIDERS, Robert 53797 Lohmar (DE) HENRY, Markus 53859 Niederkassel (DE) WALTER, Gerhard Wilhelm 50169 Kerpen-Neubottenbroich (DE) (74) Vertreter: Krüger, Florian  Patentanwälte von Kreisler Selting Werner Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)