(57) Die vorliegende Anmeldung betrifft einen Träger (2) zur Herstellung von Wafern (5,-5x),
die aus einem am Träger (2) angeklebten Materialblock (1) geschnitten sind, wobei
der Träger (2) zumindest einen Durchlass (3) zum Zuführen von Reinigungsmittel zwischen
die am Träger (2) hängenden Wafer (5,-5x) aufweist. Die vorliegende Anmeldung betrifft
weiterhin ein Verfahren zum Herstellen von Wafern (5,-5x), welches die folgenden Verfahrensschritte
umfasst:
- Ankleben eines Materialblocks (1) an einen Träger (2);
- Schneiden des Materialblocks (1) in am Träger (2) hängende Wafer (5,-5x);
- Reinigen der am Träger (2) hängenden Wafer (5,-5x) mit einem Reinigungsmittel;
wobei das Reinigungsmittel zumindest zeitweise von oben zwischen die hängenden Wafer
(5,-5x) geführt wird. Die vorliegende Anmeldung betrifft ferner eine Vorrichtung zum
Herstellen von Wafern (5,-5x) mit dem oben genannten Verfahren. Weiterhin betrifft
die vorliegende Anmeldung eine Verwendung der mit dem Träger (2) und/oder mit dem
oben genannten Verfahren und/oder mit der oben genannten Vorrichtung hergestellten
Wafer (5,-5x) als Solarzelle, als Halbleiterwafer oder als Quarzwafer.
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