(19)
(11) EP 2 155 922 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.02.2010  Patentblatt  2010/08

(21) Anmeldenummer: 08758909.9

(22) Anmeldetag:  30.05.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/08(2006.01)
C23C 14/58(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/004339
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/145397 (04.12.2008 Gazette  2008/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 01.06.2007 DE 102007025577

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • NEUBERT, Thomas
    38112 Braunschweig (DE)
  • NEUMANN, Frank
    38100 Braunschweig (DE)
  • VERGÖHL, Michael
    38162 Destedt (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TITANOXIDSCHICHTEN