(19)
(11) EP 2 155 932 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.01.2009

(43) Veröffentlichungstag:
24.02.2010  Patentblatt  2010/08

(21) Anmeldenummer: 08801441.0

(22) Anmeldetag:  29.05.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C25D 1/06(2006.01)
C23C 28/02(2006.01)
G03F 7/20(2006.01)
G21K 5/04(2006.01)
 C25D 7/08(2006.01)
G02B 17/06(2006.01)
G21K 1/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/004273
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/145364 (04.12.2008 Gazette  2008/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 31.05.2007 DE 102007025278
31.05.2007 US 932517 P

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • DINGER, Udo
    73447 Oberkochen (DE)
  • BINGEL, Ulrich
    74545 Michelfeld (DE)
  • ERXMEYER, Jeffrey
    73447 Oberkochen (DE)
  • ERZIN, Eral
    89551 Königsbronn (DE)
  • WEIGL, Bernhard
    89555 Steinheim (DE)
  • BRUYNOOGHE, Stephane
    73431 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Sawodny, Michael-Wolfgang 
Dreiköniggasse 10
89073 Ulm
89073 Ulm (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTES MIT HILFE VON ABFORMUNG, OPTISCHES ELEMENT HERGESTELLT NACH DIESEM VERFAHREN, KOLLEKTOR UND BELEUCHTUNGSSYSTEM