(19)

(11)

EP 2 156 462 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 07.05.2009 (43) Veröffentlichungstag: 24.02.2010  Patentblatt  2010/08 (21) Anmeldenummer: 08760432.8 (22) Anmeldetag:  03.06.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 49/24(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/056848 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/151968 (18.12.2008 Gazette  2008/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 11.06.2007 DE 102007027352 (71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: HENRY, Markus 53859 Niederkassel (DE) BEYER, Christian 50765 Köln (DE) (74) Vertreter: Krüger, Florian  Patentanwälte von Kreisler Selting Werner Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)