(19)
(11) EP 2 160 482 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
26.02.2009

(43) Veröffentlichungstag:
10.03.2010  Patentblatt  2010/10

(21) Anmeldenummer: 08760996.2

(22) Anmeldetag:  13.06.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/14(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/057468
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/000676 (31.12.2008 Gazette  2009/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 27.06.2007 DE 102007030585

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • JENSEN, Jens Dahl
    14050 Berlin (DE)
  • KRÜGER, Ursus
    14089 Berlin (DE)
  • KÖRTVELYESSY, Daniel
    13469 Berlin (DE)
  • REICHE, Ralph
    13465 Berlin (DE)
  • WINKLER, Gabriele
    13587 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER KERAMISCHEN SCHICHT AUF EINEM BAUTEIL