(19)
(11) EP 2 160 755 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.02.2009

(43) Veröffentlichungstag:
10.03.2010  Patentblatt  2010/10

(21) Anmeldenummer: 08760281.9

(22) Anmeldetag:  30.05.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/208(2006.01)
 H01L 31/08(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/056693
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/000608 (31.12.2008 Gazette  2009/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 26.06.2007 DE 102007029576

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • TROCHA, Martin
    45136 Essen (DE)
  • SCHMITZ, Georg-J.
    52080 Aachen (DE)
  • FRANKE, Dieter
    NL-6291 BL Vaals (NL)
  • BÄHR, Thomas
    52074 Aachen (DE)
  • TIEFERS, Rüdiger
    52372 Kreuzau (DE)
  • REX, Stephan
    52074 Aachen (DE)
  • APEL, Markus
    52074 Aachen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FOLIENARTIGEN HALBLEITERWERKSTOFFEN UND/ODER ELEKTRONISCHEN ELEMENTEN DURCH URFORMEN UND/ODER BESCHICHTUNG