(19)

(11)

EP 2 160 767 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 19.02.2009 (43) Veröffentlichungstag: 10.03.2010  Patentblatt  2010/10 (21) Anmeldenummer: 08758110.4 (22) Anmeldetag:  21.05.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/04(2006.01) H01L 31/0236(2006.01) H01L 31/0352(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2008/000870 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/145097 (04.12.2008 Gazette  2008/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 25.05.2007 DE 102007024478 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE) Friedrich-Schiller-Universität Jena 07743 Jena (DE)	(72) Erfinder: FÜCHSEL, Kevin 07747 Jena (DE) TÜNNERMANN, Andreas 99425 Weimar (DE) KLEY, Ernst-Bernhard 07743 Jena (DE) (74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer  Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)