(19)

(11)

EP 2 162 565 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 17.09.2009 (43) Veröffentlichungstag: 17.03.2010  Patentblatt  2010/11 (21) Anmeldenummer: 08774318.3 (22) Anmeldetag:  26.06.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 18/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/058132 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/000874 (31.12.2008 Gazette  2009/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 27.06.2007 DE 102007029668 (71) Anmelder: EPG (Engineered nanoProducts Germany) AG 66482 Zweibrücken (DE)	(72) Erfinder: MENNIG, Martin 66287 Quierschied (DE) SCHMIDT, Helmut 66130 Saarbrücken-Güdingen (DE) (74) Vertreter: Barz, Peter  Patentanwalt Kaiserplatz 2 80803 München 80803 München (DE)