PDV-VERFAHREN UND PVD-VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON REIBUNGSARMEN, VERSCHLEISSBESTÄNDIGEN FUNKTIONSSCHICHTEN UND DAMIT HERGESTELLTE BESCHICHTUNGEN - Patent 2165003

(19)

(11)

EP 2 165 003 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	24.03.2010 Patentblatt 2010/12

(21)	Anmeldenummer: 08773386.1

(22)	Anmeldetag: 11.06.2008

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

C23C 14/02^(2006.01)
C23C 14/34^(2006.01)

C23C 14/06^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2008/004657

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2008/155051 (24.12.2008 Gazette 2008/52)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL BA MK RS

(30)

Priorität:

20.06.2007 DE 102007028813
03.12.2007 DE 102007058356

(71)	Anmelder: Systec System- und Anlagentechnik GmbH & Co. KG
	97753 Karlstadt (DE)

(72)	Erfinder:
	MÜNZ, Wolf-Dieter A-1090 Wien (AT) KUNKEL, Stefan 63599 Biebergemünd (DE) ZUFRASS, Thorsten 97762 Hammelburg (DE)

(74)	Vertreter: Plate, Jürgen et al
	Plate Schweitzer Zounek Patentanwälte Rheingaustrasse 196 65203 Wiesbaden 65203 Wiesbaden (DE)

(54)	PDV-VERFAHREN UND PVD-VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON REIBUNGSARMEN, VERSCHLEISSBESTÄNDIGEN FUNKTIONSSCHICHTEN UND DAMIT HERGESTELLTE BESCHICHTUNGEN