(19)
(11) EP 2 171 751 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
12.03.2009

(43) Date de publication:
07.04.2010  Bulletin  2010/14

(21) Numéro de dépôt: 08826629.1

(22) Date de dépôt:  11.07.2008
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/363(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2008/051316
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/013425 (29.01.2009 Gazette  2009/05)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA MK RS

(30) Priorité: 13.07.2007 FR 0756496

(71) Demandeur: Saint-Gobain Glass France
92400 Courbevoie (FR)

(72) Inventeurs:
  • MATTMANN, Eric
    F-75013 Paris (FR)
  • REUTLER, Pascal
    F-75019 Paris (FR)
  • LIENHART, Fabien
    F-75015 Paris (FR)

(74) Mandataire: Teyssedre, Laurent 
Saint-Gobain Recherche Département Propriété Industrielle 39 Quai Lucien Lefranc
93300 Aubervilliers Cedex
93300 Aubervilliers Cedex (FR)

   


(54) SUBSTRAT POUR LA CROISSANCE EPITAXIALE DE NITRURE DE GALLIUM