(19)
(11) EP 2 174 348 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.04.2010  Patentblatt  2010/15

(21) Anmeldenummer: 08786207.4

(22) Anmeldetag:  17.07.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 23/31(2006.01)
H01L 23/482(2006.01)
H01L 21/56(2006.01)
H01L 21/60(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/059368
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/016041 (05.02.2009 Gazette  2009/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 31.07.2007 DE 102007035902

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WEIDNER, Karl
    81245 München (DE)
  • HOFFMANN, Werner
    92245 Kümmersbruck (DE)
  • HÖFER, Roland
    92272 Freudenberg (DE)
  • SCHWARZBAUER, Herbert
    81373 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES ELEKTRONISCHEN BAUSTEINS UND ELEKTRONISCHER BAUSTEIN