VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR AUFBRINGUNG EINER SCHICHT EINES TRENNMITTELS AUF EIN SUBSTRAT - Patent 2176440

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EP 2 176 440 A2

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(88)	Veröffentlichungstag A3:
	23.04.2009

(43)	Veröffentlichungstag:
	21.04.2010 Patentblatt 2010/16

(21)	Anmeldenummer: 08773839.9

(22)	Anmeldetag: 03.07.2008

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

C23C 14/04^(2006.01)

C23C 14/56^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2008/005428

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2009/003701 (08.01.2009 Gazette 2009/02)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL BA MK RS

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Priorität:

05.07.2007 DE 102007031457

(71)	Anmelder: Leybold Optics GmbH
	63775 Alzenau (DE)

(72)	Erfinder:
	KÜPER, Stephan 61352 Bad Homburg (DE) SCHMITT, Christopher 63517 Rodenbach (DE)

(74)	Vertreter: Pohlmann, Bernd Michael
	Reinhardt & Pohlmann Patentanwälte Rossmarkt 12 60311 Frankfurt am Main 60311 Frankfurt am Main (DE)

(54)	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR AUFBRINGUNG EINER SCHICHT EINES TRENNMITTELS AUF EIN SUBSTRAT