(19)
(11) EP 2 179 268 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.04.2009

(43) Veröffentlichungstag:
28.04.2010  Patentblatt  2010/17

(21) Anmeldenummer: 08784316.5

(22) Anmeldetag:  09.07.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/45(2006.01)
G01B 11/06(2006.01)
 G01N 21/47(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2008/001130
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/012748 (29.01.2009 Gazette  2009/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 20.07.2007 DE 102007034289

(71) Anmelder: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
14109 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • HESSE, Raik
    13125 Berlin (DE)
  • SCHOCK, Hans-Werner
    70563 Stuttgart (DE)
  • ABOU-RAS, Daniel
    10589 Berlin (DE)
  • UNOLD, Thomas
    14469 Potsdam (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR IN-SITU-BESTIMMUNG DER STOFFLICHEN ZUSAMMENSETZUNG VON OPTISCH DÜNNEN SCHICHTEN, ANORDNUNGEN ZUR DURCHFÜHRUNG UND ANWENDUNGEN DES VERFAHRENS