(19)

(11)

EP 2 181 316 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.05.2010  Patentblatt  2010/18 (21) Anmeldenummer: 08774003.1 (22) Anmeldetag:  16.07.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01N 1/06(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/005817 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/015775 (05.02.2009 Gazette  2009/06)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 30.07.2007 DE 102007035582 (71) Anmelder: Carl Zeiss MicroImaging GmbH 81379 München (DE)	(72) Erfinder: SÄGMÜLLER, Bernd 69514 Laudenbach (DE) (74) Vertreter: Sticht, Andreas et al Kraus & Weisert Patent- und Rechtsanwälte Thomas-Wimmer-Ring 15 80539 München 80539 München (DE)