(19)

(11)

EP 2 183 764 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.05.2010  Patentblatt  2010/19 (21) Anmeldenummer: 08786042.5 (22) Anmeldetag:  10.07.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/00(2006.01) H01L 21/677(2006.01) H01L 21/683(2006.01) H01L 21/66(2006.01) H01L 21/68(2006.01) H01L 21/687(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/058988 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/027142 (05.03.2009 Gazette  2009/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 31.08.2007 DE 102007041332 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: GERHARD, Detlef 81829 München (DE)