ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNO........................*JBDM Ver 0.1.63 (23 May 2017) - 2999001/02183769CORRECTED EUROPEAN PATENT SPECIFICATIONB8B120170823W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP08797141.22008080420100218enenen953602 P20070802US5903920080605US2017082320173420100512201019201707192017292017021420170823201734C25D 5/02 20060101AFI20151104BHEP H01L 21/288 20060101ALI20151104BHEP deKUPFERMETALLISIERUNG EINER SI-DURCHKONTAKTIERUNGenCOPPER METALLIZATION OF THROUGH SILICON VIAfrMÉTALLISATION EN CUIVRE DE TROUS D'INTERCONNEXION DANS DU SILICIUMWO-A1-2007/130710WO-A2-2006/053242US-A1- 2004 045 832US-A1- 2004 082 756US-A1- 2005 045 488US-A1- 2006 141 784US-A1- 2006 141 78420151110RICHARDSON, Thomas, B.c/o Enthone Inc. 350 Frontage RoadWest Haven, CT 06515USZHANG, Yun109 Corporate Blvd.South Plainfield, New Jersey 07080USWANG, Chen193 Marsh Hill RoadOrange, Connecticut 06477USPANECCASIO, Vincentc/o Enthone Inc. 350 Frontage RoadWest Haven, CT 06516USWANG, Caic/o Enthone Inc. 350 Frontage RoadWest Haven, Connecticut 06516USLIN, Xuanc/o Enthone Inc. 350 Frontage RoadWest Haven, CT 06516USHURTUBISE, Richardc/o Enthone Inc. 350 Frontage RoadWest Haven, CT 06516USABYS, Joseph, A.c/o Enthone Inc. 350 Frontage RoadNew Haven, CT 06516USMacDermid Enthone Inc.101674839P 82026350 Frontage RoadWest Haven CT 06516USUexküll & Stolberg101312292Partnerschaft von Patent- und Rechtsanwälten mbB Beselerstraße 422607 HamburgDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMTNLNOPLPTROSESISKTRUS200807213620080804enWO20090185812009020520090620100512201019