(19)
(11) EP 2 183 772 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.05.2010  Patentblatt  2010/19

(21) Anmeldenummer: 09777553.0

(22) Anmeldetag:  30.07.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/68(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/005531
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/022843 (04.03.2010 Gazette  2010/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 01.09.2008 DE 102008045255

(71) Anmelder: RENA GmbH
78148 Gütenbach (DE)

(72) Erfinder:
  • REUSTLE, Peter
    74399 Walheim (DE)
  • GUTEKUNST, Mathias
    72221 Haiterbach (DE)
  • LÜTKE NOTARP, Dietmar
    50931 Köln (DE)

(74) Vertreter: Stürken, Joachim 
Joachim Stürken Patentanwaltsgesellschaft mbH Kirchenhölzle 18
79104 Freiburg
79104 Freiburg (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN