(19)

(11)

EP 2 186 147 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.05.2010  Patentblatt  2010/20 (21) Anmeldenummer: 08803247.9 (22) Anmeldetag:  27.08.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 41/09(2006.01) H01L 41/24(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/061180 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/033949 (19.03.2009 Gazette  2009/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 11.09.2007 DE 102007043263 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: BLUME, Heinrich-Jochen 64291 Darmstadt (DE) GOTTLIEB, Bernhard 81739 München (DE) KAPPEL, Andreas 85649 Brunnthal (DE) KISSEL, Robert Wolfgang 63329 Egelsbach (DE) MITTENBÜHLER, Karl-Heinz 64347 Griesheim (DE) SCHWEBEL, Tim 80337 München (DE) WALLENHAUER, Carsten 01987 Schwarzheide (DE)