(19)
(11) EP 2 188 224 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.05.2010  Patentblatt  2010/21

(21) Anmeldenummer: 08803253.7

(22) Anmeldetag:  27.08.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C03C 17/25(2006.01)
C23C 16/50(2006.01)
G02B 1/11(2006.01)
B05D 7/24(2006.01)
 C03C 17/34(2006.01)
G02B 1/10(2006.01)
C23C 16/455(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/061186
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/037073 (26.03.2009 Gazette  2009/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 13.09.2007 DE 102007043650

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • EDER, Florian
    91052 Erlangen (DE)
  • GENSLER, Rudolf
    Singapore 596288 (SG)

   


(54) VERFAHREN ZUR TRANSPARENTEN BESCHICHTUNG VON EINEM SUBSTRAT MIT PLASMA BEI ATMOSPHÄRENDRUCK