(19)
(11) EP 2 188 410 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.05.2010  Patentblatt  2010/21

(21) Anmeldenummer: 08801942.7

(22) Anmeldetag:  09.09.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/34(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/007369
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/036910 (26.03.2009 Gazette  2009/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 18.09.2007 DE 102007044651

(71) Anmelder: W.C. Heraeus GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • PREISSLER, Peter
    63826 Geiselbach (DE)
  • SCHULTHEIS, Markus
    36103 Flieden (DE)
  • WEIGERT, Martin
    63457 Hanau (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
Heraeus Holding GmbH Schutzrechte Heraeusstrasse 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) ROHRSPUTTERTARGET MIT GRABENFÖRMIG STRUKTURIERTER AUSSENFLÄCHE DES TRÄGERROHRES