(19)

(11)

EP 2 188 833 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 17.09.2009 (43) Veröffentlichungstag: 26.05.2010  Patentblatt  2010/21 (21) Anmeldenummer: 08801903.9 (22) Anmeldetag:  30.08.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/673(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/007321 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/030494 (12.03.2009 Gazette  2009/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 31.08.2007 DE 202007012384 U (71) Anmelder: Jonas & Redmann Automationstechnik GmbH 10553 Berlin (DE)	(72) Erfinder: JONAS, Stefan 12351 Berlin (DE) REDMANN, Lutz 14532 Kleinmachnow (DE) (74) Vertreter: Hoffmann, Klaus-Dieter  Kurfürstendamm 40-41 10719 Berlin 10719 Berlin (DE)