| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL
PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL BA MK RS |
| (30) |
Priorität: |
19.09.2007 DE 102007044690
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| (71) |
Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- JUNG, Ulrich
65551 Limburg (DE)
- HARIG, Christian
51105 Köln (DE)
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| (74) |
Vertreter: Krüger, Florian et al |
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von Kreisler Selting Werner
Patentanwälte
Bahnhofsvorplatz 1 D-50667 Köln D-50667 Köln (DE) |
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