(19)
(11) EP 2 191 503 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.06.2010  Patentblatt  2010/22

(21) Anmeldenummer: 08786380.9

(22) Anmeldetag:  24.07.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/78(2006.01)
 B81C 1/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/059688
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/033871 (19.03.2009 Gazette  2009/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 12.09.2007 DE 102007043526

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • KRAMER, Torsten
    72827 Wannweil (DE)
  • BOEHRINGER, Matthias
    72768 Reutlingen (DE)
  • PINTER, Stefan
    72764 Reutlingen (DE)
  • BENZEL, Hubert
    72124 Pliezhausen (DE)
  • ILLING, Matthias
    Palo Alto California 94303 (US)
  • HAAG, Frieder
    72827 Wannweil (DE)
  • ARMBRUSTER, Simon
    72810 Gomaringen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER VIELZAHL VON CHIPS UND ENTSPRECHEND HERGESTELLTER CHIP